空间滤波器是一种用于改变或校正相干光源输出中的像差的设备。像差是投射光束中不良的特征,由制造不良、肮脏或损坏的光学器件引起,通常表现为中心光束周围出现微弱的同心光环。空间滤波器通常由一个准直透镜组成,该透镜聚焦光束并使其通过一个小孔径。这仅允许光束的所需部分通过,同时排除像差。空间滤波器通常用于消除高强度、精密光源(例如激光)的缺陷。
高强度、精细聚焦或相干光源的完整性取决于许多元素,最重要的是用于产生光束的光学器件的质量。生产标准差、污染和任何类型的损坏等问题都可能导致光输出出现畸变或缺陷。ns。这些会对光束产生影响,使其不再发挥其预期功能,特别是在激光等高精度设备的情况下。像差通常表现为中央输出光束周围较弱光的模糊同心环。
恢复光输出所需保真度的常见方法是使用的空间滤波器。这些设备重新聚焦光线并滤除光束中不需要的部分,只留下原始输出。这是通过使用单独的透镜聚焦光束并将其引导到表面上具有非常小的孔径或孔的厚箔板来实现的。孔的尺寸经过仔细计算,以适应设备中使用的透镜的焦距、光束的波长以及缺陷的程度光束中存在的离子。
此过程有效地阻挡了光束中存在的异常部分,只允许所需的部分通过孔径。该过程可实现所得光输出的极高保真度。然而,空间滤波器孔径的大小至关重要,微小的计算错误可能会对输出光束产生不利影响。如果孔太小,可能会经历显着的功率损失,而如果孔太大,则很少或不会发生像差过滤。在许多市售空间滤光片设备中,也使用显微镜物镜,因为其固有的高质量。
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